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3種常見高真空泵(低溫泵、擴散泵、分子泵)的對比
日期：2025-05-01 07:46
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摘要：
| 泵的種類 | 低溫泵 | 擴散泵 | 渦輪分子泵 |
| 工作方式 |
將氣體微粒凍結到一塊“多孔性材料”上， 從而捕獲氣體微粒 |
用快速流動的油捕獲氣體微粒，并 將它們導出真空室 |
用高速旋轉(zhuǎn)的葉片產(chǎn)生強力氣流，從 而將氣體微粒導出腔室 |
| 應用 |
尤其適合于半導體及平面顯示器的應用 僅用于太陽能電池工藝 |
適合于大多數(shù)應用，但半導體除外 建議不要用于反應式鍍膜 |
適合于大多數(shù)應用 |
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適合于移動速度快的小原子，例如： 氦氣、氫氣和水蒸氣 多種安裝方式，允許任何方向 |
度高 適用于較大的空間 |
良好的抽氣特性 無需維護 多種安裝方式，允許任何方向 無污染源 |
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| 缺點 |
需要 抽氣速度不穩(wěn)定 氣流較大時效果不理想 |
可能造成污染（油氣） 只能直立安裝 建議不要用于活性氣體，存在爆炸危險 |
高壓（排氣）可能造成損壞 |
